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　　MEMS芯片簡介

　　MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(Micro Electromechanical System)，利用半導體制造工藝和材料，將傳感器、執(zhí)行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng)，其內部結構一般在微米甚至納米量級。MEMS主要包含兩個部分：傳感器和執(zhí)行器。與傳統(tǒng)的機械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優(yōu)點，可以滿足物聯(lián)網時代對于傳感器的要求。

　　MEMS芯片分類

　　MEMS傳感器種類很多，也有多種分類方法。按其工作原理，大致可分為MEMS物理、化學和生物傳感器，其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類，不同的MEMS 傳感器可以測量不同的量，實現(xiàn)不同的功能。

傳感器分類

　　MEMS芯片行業(yè)發(fā)展歷程

　　MEMS 起源可追溯至 20 世紀 50 年代，硅的壓阻效應被發(fā)現(xiàn)后，學者們開始了對硅傳感器的研究。然而，MEMS 產業(yè)真正發(fā)展始于 20 世紀 80 年代，前后經歷了 3 次產業(yè)化浪潮。20 世紀 80 年代至 90 年代：1983 年 Honeywell 利用大型刻蝕硅片結構和背蝕刻膜片制作了集成壓力傳感器，將機械結構與電路集成在一個芯片內。80 年代末至 90 年代，汽車行業(yè)的快速發(fā)展，汽車電子應用如安全氣囊、制動壓力、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)等需求增長，巨大利潤空間驅使歐洲、日本和美國的企業(yè)大量生產 MEMS，推動了 MEMS 行業(yè)發(fā)展的第一次浪潮。20 世紀 90 年代末至 21 世紀初：本階段早期，噴墨打印頭和微光學器件的巨大需求促進了 MEMS 行業(yè)的發(fā)展。而 2007 年后，消費電子產品對 MEMS 的強勁需求，手機、小家電、電子游戲、遠程控制、移動互聯(lián)網設備等消費電子產品要求體積更小且功耗更低的 MEMS 相關器件，對 MEMS 產品需求更大，掀起了 MEMS 行業(yè)發(fā)展的第二次產業(yè)化浪潮，并將持續(xù)推動 MEMS 行業(yè)向前發(fā)展。2010 年至今：產品應用的擴展，使 MEMS 行業(yè)呈現(xiàn)新的趨勢。MEMS 產品逐步應用于物聯(lián)網、可穿戴設備等新領域，應用場景日益豐富，正漸漸覆蓋人類生活的各個維度。此外，MEMS 是當前移動終端創(chuàng)新的方向，新的設備形態(tài)(如可穿戴設備)需要更加微型化的器件和更為便捷的交互方式。然而，物聯(lián)網、可穿戴設備應用助推 MEMS 第三次產業(yè)化浪潮的同時，行業(yè)仍然面臨來自產品規(guī)格、功率消耗、產品整合以及成本等方面的壓力，MEMS 產品及相關技術亟待持續(xù)改進，以滿足更小、更低能耗、更高性能的需求。

　　國內傳感器企業(yè)的主要布局區(qū)域

　　長三角區(qū)域?以上海、無錫、南京為中心。?逐漸形成包括熱敏、磁敏、圖像、稱重、光電、溫度、氣敏等較為完備的傳感器生產體系及產業(yè)配套。

　　珠三角區(qū)域?以深圳中心城市為主。?由附近中小城市的外資企業(yè)組成以熱敏、磁敏、超聲波、稱重為主的傳感器產業(yè)體系。

　　東北地區(qū)?以沈陽、長春、哈爾濱為主。?主要生產MEMS力敏傳感器、氣敏傳感器、濕敏傳感器。

　　京津區(qū)域?主要以高校為主。?從事新型傳感器的研發(fā)，在某些領域填補國內空白。北京已建立微米/納米國家重點實驗室。

　　中部地區(qū)?以鄭州、武漢、太原為主。?產學研緊密結合的模式，在PTC/NTC熱敏電阻、感應式數(shù)字液位傳感器和氣體傳感器等產業(yè)方面發(fā)展態(tài)勢良好。